Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов

А.В. Архипов, В.Д. Дмитриев, А.В. Волков, И.В. Лофицкий. — Самара : Изд-во Самар, гос. аэрокосм, ун-та, 2001. — 24 c.Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навыков нанесения материалов на подложку.
Рекомендуются студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины “Технологические процессы микроэлектроники”. Подготовлены на кафедре МиТРЭА.