- Main
- Engineering
- Fundamental Principles of Optical...
Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Chris MackBạn thích cuốn sách này tới mức nào?
Chất lượng của file scan thế nào?
Xin download sách để đánh giá chất lượng sách
Chất lượng của file tải xuống thế nào?
The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components. By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate. This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter. Additional Information: Visiting http://www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB®, to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.
Thể loại:
Năm:
2008
In lần thứ:
1
Nhà xuát bản:
Wiley-Interscience
Ngôn ngữ:
english
Trang:
534
ISBN 10:
0470723874
ISBN 13:
9781119965077
File:
PDF, 7.45 MB
Các thể loại của bạn:
IPFS:
CID , CID Blake2b
english, 2008
File sẽ được chuyển tới email của bạn trong 1-5 phút nữa.
Trong vòng 1-5 phút, file sẽ được chuyển tới tài khoản Telegram của bạn.
Lưu ý: Hãy tin rằng bạn quyến luyên với tài khoản bot Telegram Z-Library.
Trong vòng 1-5 phút, file sẽ được chuyển tới thiết bị Kindle của bạn.
Lưu ý: bạn cần kiểm tra từng cuốn sách bạn chuyển tới Kindle. Xin kiểm tra thư xác nhận từ Amazon Kindle Support trong hộp thư điện tử của bạn.
Hoàn thành chuyển đổi thành trong
Chuyển đổi thành không thành công
Lợi ích của trạng thái Premium
- Gửi tới độc giả điện tử
- Tăng giới hạn tải xuống
- Chuyển đổi tập tin
- Các kết quả tìm kiếm tiếp theo
- Các lợi ích khác